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ZAO透明导电纳米薄膜中Al元素分布对其性能的影响 期刊论文
东北大学学报, 2003, 期号: 1, 页码: 54-57
作者:  陆峰,徐成海,孙超,闻立时
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Zao薄膜  Al质量分数  Eds  Xrd  电阻率  透射率