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Continuous CoSi2 layers in silicon synthesized by Co-ion implantation 期刊论文
Materials Letters, 1997, 卷号: 32, 期号: 2-3, 页码: 121-126
作者:  J. Z. Zhang;  X. Y. Ye;  J. Chang;  S. Bernard
收藏  |  浏览/下载：64/0  |  提交时间：2012/04/14
Silicide  Cobalt  Cosi2  Ion implantatIon  Buried Cosi2  Beam Synthesis  Beta-fesi2  Growth