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Mechanical properties of silicon carbonitride thin films 期刊论文
Japanese Journal of Applied Physics Part 1-Regular Papers Short Notes & Review Papers, 2003, 卷号: 42, 期号: 2A, 页码: 620-622
作者:  X. F. Peng;  X. F. Hu;  W. Wang;  L. X. Song
收藏  |  浏览/下载：97/0  |  提交时间：2012/04/14
Silicon Carbonitride  Hardness  Bond Impact  Chemical-vapor-deposition  Nitride  Coatings  Carbide  Growth