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Study on cathode spot motion and macroparticles reduction in axisymmetric magnetic field-enhanced vacuum arc deposition 期刊论文
Vacuum, 2010, 卷号: 84, 期号: 9, 页码: 1111-1117
作者:  W. C. Lang;  J. Q. Xiao;  J. Gong;  C. Sun;  R. F. Huang;  L. S. Wen
Adobe PDF(1503Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：76/0  |  提交时间：2012/04/13
Vacuum Arc Deposition  Axisymmetric Magnetic Field  Cathode Spot Motion  Macroparticles Reduction  Pressure