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Direct observation of electron-beam-induced nucleation and growth in amorphous GaAs 期刊论文
Materials Science in Semiconductor Processing, 2004, 卷号: 7, 期号: 1-2, 页码: 19-25
作者:  Z. C. Li;  H. Zhang;  Y. B. Xu
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Amorphous Gaas  Electron Beam Irradiation  Crystallization  Electron  Microscopy  Induced Epitaxial Regrowth  Silicon  Crystallization  Ge  Irradiation  Kinetics  Si  Amorphization  Cazrti2o7  Damage