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Cu-Ni多层膜纳米压痕下微观变形结构的研究 期刊论文
电子显微学报, 2005, 期号: 4, 页码: 278
作者:  谭军,谢天生,张广平
收藏  |  浏览/下载：93/0  |  提交时间：2012/04/12
多层膜:6249  纳米压痕:6182  微观变形:3638  微观结构:1553  Cu-ni:1540  表征:1371  压头:996  形貌:802  Cu膜:792  中国科学院:744