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Size-effect on stress behavior of the AlN/TiN film 期刊论文
Acta Materialia, Acta Materialia, 2009, 2009, 卷号: 57, 57, 期号: 8, 页码: 2576-2582, 2576-2582
作者:  D. Chen;  Y. M. Wang;  X. L. Ma
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