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Influence of quantity and energy of the particles in gas phase on nucleation of the HFCVD of diamond films 期刊论文
Materials Letters, 2001, 卷号: 48, 期号: 1, 页码: 41135
作者:  G. H. Song;  C. Sun;  B. Wang;  A. Y. Wang;  R. F. Huang;  L. S. Wen
收藏  |  浏览/下载：69/0  |  提交时间：2012/04/14
Diamond Film  Hot Filament Chemical Vapor Deposition (Hfcvd)  Nucleation  Density  Mass Current Density  Substrate Bias  Chemical-vapor-deposition  Amorphous-carbon  Initial Growth  Flow Rate  Mechanism