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Simulations of reactive sputtering with constant voltage power supply 期刊论文
Journal of Applied Physics, 1998, 卷号: 84, 期号: 11, 页码: 6399-6408
作者:  S. L. Zhu;  F. H. Wang;  W. T. Wu
收藏  |  浏览/下载：74/0  |  提交时间：2012/04/14
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