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How thick SiO(2) cap layer is needed to achieve strong visible photoluminescence from SiO(2)-buffered SiN(x) films?
期刊论文
Physica E-Low-Dimensional Systems & Nanostructures, 2010, 卷号: 42, 期号: 8, 页码: 2016-2020
作者:
M. Xu
;
Q. Y. Chen
;
S. Xu
;
K. Ostrikov
;
Y. Wei
;
Y. C. Ee
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提交时间:2012/04/13
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Sio(2)
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Silicon Oxynitride
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Luminescence
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