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How thick SiO(2) cap layer is needed to achieve strong visible photoluminescence from SiO(2)-buffered SiN(x) films? 期刊论文
Physica E-Low-Dimensional Systems & Nanostructures, 2010, 卷号: 42, 期号: 8, 页码: 2016-2020
作者:  M. Xu;  Q. Y. Chen;  S. Xu;  K. Ostrikov;  Y. Wei;  Y. C. Ee
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Sinx Film  Sio(2)  Annealing  Photoluminescence  Silicon Oxynitride  Si0.7ge0.3 Layers  Defect Spectrum  Nanostructures  Luminescence  Morphology  Devices  Origin  Growth