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大功率CO2激光沉积超硬Si3N4膜的性能和组织 期刊论文
金属学报, 1992, 卷号: 28.0, 期号: 008, 页码: B351-B355
作者:  冯钟潮;  郭良;  梁勇;  韩健;  侯万良;  宁小光
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Si3N4膜  组织结构  硬度  耐磨  LCVD