中文版 | English

在结果中检索

IMR OpenIR

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
Development of low-stress SiC coating on single crystal Si using low elastic modulus SiOC amorphous buffer layer 期刊论文
JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS, 2024, 卷号: 631, 页码: 8
作者:  Jing, Weichen;  Tariq, Naeem ul Haq;  Wang, Junchao;  Hou, Wenkang;  Xiong, Tianying;  Tang, Mingqiang
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2025/04/27
SiC coating  SiOC buffer layer  MOCVD  Residual stress  Mechanical property