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Effect of negative bias voltage on CrN films deposited by arc ion plating. I. Macroparticles filtration and film-growth characteristics 期刊论文
Journal of Vacuum Science & Technology A, 2008, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 1258-1266
作者:  Q. M. Wang;  K. H. Kim
收藏  |  浏览/下载：85/0  |  提交时间：2012/04/13
Chromium Nitride Films  Hybrid Coating System  Structure Zone Model  Si-n Coatings  Mechanical-properties  Tin Films  Thin-films  Pulse Bias  Vacuum  Evaporation