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Investigation on Behavior of Macro-Particles in TiN Film by Arc Ion Plating 期刊论文
JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY, 2015, 卷号: 15, 期号: 9, 页码: 7357-7362
作者:  Lang, W. C.;  Gao, B.;  Du, H.;  Xiao, J. Q.;  Li, M. X.;  Wang, X. H.
收藏  |  浏览/下载：129/0  |  提交时间：2016/04/21
Arc Ion Plating  Transverse Magnetic Field (Tmf)  Pulsed Bias  Nitrogen Partial Pressure  Substrate Position  Macro-particles Reduction