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Support compliance: A non-ignorable factor for cantilever sensors for MEMS application 期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2022, 卷号: 346, 页码: 4
作者:  Li, Diao-Feng;  Li, Nan;  Bai, Chun-Guang;  Zhang, Zhi-Qiang;  Zhao, Jian
收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2023/05/09
Cantilever beam  Support compliance  Elastic properties  Metallic glass  MEMS  
Support compliance: A non-ignorable factor for cantilever sensors for MEMS application 期刊论文
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2022, 卷号: 346, 页码: 4
作者:  Li, Diao-Feng;  Li, Nan;  Bai, Chun-Guang;  Zhang, Zhi-Qiang;  Zhao, Jian
收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2023/05/09
Cantilever beam  Support compliance  Elastic properties  Metallic glass  MEMS