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Effect of pulsed bias on microhardness of Ti/TiN multilayer films deposited by arc ion plating 期刊论文
ACTA METALLURGICA SINICA, 2005, 卷号: 41, 期号: 10, 页码: 1106-1110
作者:  Zhao, YH;  Lin, GQ;  Li, XN;  Dong, C;  Wen, LS
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pulsed bias  arc ion plating  Ti/TiN nano-multilayer film  microhardness