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Mechanism of effect of bias on morphologies of films prepared by arc ion plating 期刊论文
ACTA METALLURGICA SINICA, 2003, 卷号: 39, 期号: 5, 页码: 510-515
作者:  Huang, MD;  Lin, GQ;  Dong, C;  Sun, C;  Wen, LS
收藏  |  浏览/下载：84/0  |  提交时间：2021/02/02
bias  arc ion plating  TiN thin film  morphology  
Mechanism of effect of bias on morphologies of films prepared by arc ion plating 期刊论文
ACTA METALLURGICA SINICA, 2003, 卷号: 39, 期号: 5, 页码: 510-515
作者:  Huang, MD;  Lin, GQ;  Dong, C;  Sun, C;  Wen, LS
收藏  |  浏览/下载：91/0  |  提交时间：2021/02/02
bias  arc ion plating  TiN thin film  morphology