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TiN/TiC multilayer films deposited by pulse biased arc ion plating 期刊论文
Vacuum, 2010, 卷号: 85, 期号: 1, 页码: 40912
作者:  Y. H. Zhao;  G. Q. Lin;  J. Q. Xiao;  C. A. Dong;  L. S. Wen
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Tin/tic Multilayer Films  Pulse Biased Arc Ion Plating  Microhardness  Film/substrate Adhesion  Mechanical-properties  Hard Coatings  Behavior  Systems  Design  Steel