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Investigation on the electrical properties and inhomogeneous distribution of ZnO : Al thin films prepared by dc magnetron sputtering at low deposition temperature 期刊论文
Journal of Applied Physics, 2007, 卷号: 101, 期号: 1
作者:  X. B. Zhang;  Z. L. Pei;  J. Gong;  C. Sun
收藏  |  浏览/下载：76/0  |  提交时间：2012/04/13
Doped Zinc-oxide  Transparent Conducting Oxides  Plasma Parameters  Growth  Rf  Stress  Resistivity  Particles  Evolution  Surface