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Analysis on the process of ZAO films by DC magnetron reactive sputtering 期刊论文
Science China-Technological Sciences, 2011, 卷号: 54, 期号: 1, 页码: 28-32
作者:  F. Lu;  C. H. Xu;  L. S. Wen
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Zao Film  Resistivity  Transmissivity  Zno  Temperature  
Preparation and properties of ZnO : Al (ZAO) thin films deposited by DC reactive magnetron sputtering 期刊论文
ACTA METALLURGICA SINICA, 2005, 卷号: 41, 期号: 1, 页码: 84-88
作者:  Pei, ZL;  Zhang, XB;  Wang, TG;  Gong, J;  Sun, C;  Wen, LS
收藏  |  浏览/下载：77/0  |  提交时间：2021/02/02
DC reactive magnetron sputtering  ZAO film  growth mechanism  electrical and optical propertie