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Influence of Nitrogen Vacancy Concentration on Mechanical and Electrical Properties of Rocksalt Zirconium Nitride Films 期刊论文
CHINESE ACAD SCIENCES, INST METAL RESEARCH, 2017, 卷号: 30, 期号: 11, 页码: 1100-1108
作者:  Han, Ke-Chang;  Lin, Guo-Qiang;  Dong, Chuang;  Tai, Kai-Ping;  Jiang, Xin;  Lin, GQ (reprint author), Dalian Univ Technol, Minist Educ, Key Lab Mat Modificat Laser Ion & Electron Beams, Dalian 116024, Peoples R China.
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Zrnx Films  Nitrogen Vacancy  Hardness  Electrical Properties  Band Structure