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Preparation and properties of ZnO : Al (ZAO) thin films deposited by DC reactive magnetron sputtering 期刊论文
ACTA METALLURGICA SINICA, 2005, 卷号: 41, 期号: 1, 页码: 84-88
作者:  Pei, ZL;  Zhang, XB;  Wang, TG;  Gong, J;  Sun, C;  Wen, LS
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DC reactive magnetron sputtering  ZAO film  growth mechanism  electrical and optical propertie