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Monte Carlo simulation of gas free molecular flow in turbo molecular pump's inlet tube 期刊论文
MOLECULAR SIMULATION, 2018, 卷号: 44, 期号: 15, 页码: 1261-1269
作者:  Sun, Kun;  Zhang, Shiwei;  Li, Yajie;  Zhang, Zhijun;  Li, Haitao;  Mu, Ruyi
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Monte Carlo simulation  turbo molecular pump  inlet tube  free molecular flow