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Raman spectroscopy of a-C : H : N films deposited using ECR-CVD with mixed gas 期刊论文
Applied Surface Science, 2007, 卷号: 253, 期号: 16, 页码: 6957-6962
作者:  F. X. Liu;  K. L. Yao;  Z. L. Liu
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A-c : h : n  Raman Spectroscopy  g Peak Dispersion  Hardness  Diamond-like Carbon  Chemical-vapor-deposition  Amorphous-carbon  Tribological Properties  Mechanical-properties  Thin-films  Coatings  Nitride  Ultraviolet  Spectra