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Coaxial Twin-shaft Magnetic Fluid Seals Applied in Vacuum Wafer-Handling Robot 期刊论文
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING, 2012, 卷号: 25, 期号: 4, 页码: 706-714
作者:  Cong Ming;  Wen Haiying;  Du Yu;  Dai Penglei
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