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脉冲偏压对离子束辅助电弧离子镀TiN/Cu纳米复合膜结构及硬度的影响 期刊论文
真空科学与技术学报, 2014, 期号: 10, 页码: 1040-1046
作者:  李凤岐;  冯丹;  赵彦辉;  于宝海
收藏  |  浏览/下载：123/0  |  提交时间：2015/01/15
Tin/cu纳米复合膜  离子束辅助沉积  电弧离子镀  脉冲偏压  硬度