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一种硬质薄膜残余应力测试仪 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2008-12-10, 公开日期: 2008-12-10
发明人:  李家宝, 华伟刚, 孙超, 赵升升, 宫骏, 杜昊 and 王启民
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一种测试薄膜残余应力及其沿层深分布的方法 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2006-06-28, 公开日期: 2006-06-28
发明人:  孙超, 赵升升, 华伟刚, 宫骏, 杜昊, 王启民 and 李家宝
收藏  |  浏览/下载：56/0  |  提交时间：2013/06/06