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磁控溅射纳米PtSi薄膜表面和界面特征 会议论文
《半导体学报》第24卷 增刊第二届全国纳米技术与应用学术会议专刊, 宁波, 2002-11-28
作者:  殷景华;  蔡伟;  王明光;  郑玉峰;  李美成;  王培林;  赵连城
收藏  |  浏览/下载：137/0  |  提交时间：2013/08/21
表面形貌  界面结构  磁控溅射方法  硅化铂  纳米薄膜