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Investigation on Behavior of Macro-Particles in TiN Film by Arc Ion Plating 期刊论文
JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY, 2015, 卷号: 15, 期号: 9, 页码: 7357-7362
作者:  Lang, W. C.;  Gao, B.;  Du, H.;  Xiao, J. Q.;  Li, M. X.;  Wang, X. H.
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Arc Ion Plating  Transverse Magnetic Field (Tmf)  Pulsed Bias  Nitrogen Partial Pressure  Substrate Position  Macro-particles Reduction  
Synthesis of titanium nitride thin films deposited by a new shielded arc ion plating 期刊论文
Applied Surface Science, 2011, 卷号: 257, 期号: 13, 页码: 5694-5697
作者:  Y. H. Zhao;  G. Q. Lin;  J. Q. Xiao;  W. C. Lang;  C. A. Dong;  J. Gong;  C. Sun
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Shielded Arc Ion Plating  Tin  Thin Films  Deposition Rate  Droplet  Particles  Adhesion  Cathodic Arc  Reactive Vacuum  
Study on cathode spot motion and macroparticles reduction in axisymmetric magnetic field-enhanced vacuum arc deposition 期刊论文
Vacuum, 2010, 卷号: 84, 期号: 9, 页码: 1111-1117
作者:  W. C. Lang;  J. Q. Xiao;  J. Gong;  C. Sun;  R. F. Huang;  L. S. Wen
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Vacuum Arc Deposition  Axisymmetric Magnetic Field  Cathode Spot Motion  Macroparticles Reduction  Pressure