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Development of low-stress SiC coating on single crystal Si using low elastic modulus SiOC amorphous buffer layer 期刊论文
JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS, 2024, 卷号: 631, 页码: 8
作者:  Jing, Weichen;  Tariq, Naeem ul Haq;  Wang, Junchao;  Hou, Wenkang;  Xiong, Tianying;  Tang, Mingqiang
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SiC coating  SiOC buffer layer  MOCVD  Residual stress  Mechanical property  
A viable approach to prepare 3C-SiC coatings by thermal MOCVD using commercial grade precursors 期刊论文
JOURNAL OF THE EUROPEAN CERAMIC SOCIETY, 2022, 卷号: 42, 期号: 11, 页码: 4456-4464
作者:  Liu, Housheng;  Tariq, Naeem ul Haq;  Jing, Weichen;  Cui, Xinyu;  Tang, Mingqiang;  Xiong, Tianying
收藏  |  浏览/下载：103/0  |  提交时间：2022/07/14
HMDSO  MOCVD  SiC  Thermal reduction