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Mn或Cu掺杂非晶AlN薄膜的光致发光特性 期刊论文
真空科学与技术学报, 2007, 期号: 6, 页码: 508-510
作者:  巴德纯;  佟洪波;  闻立时
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氮化铝  中频反应溅射  掺杂  光致发光  
中频反应磁控溅射制备AlN薄膜的工艺研究 期刊论文
真空科学与技术学报, 2007, 期号: 4, 页码: 332-335
作者:  佟洪波;  巴德纯;  闻立时
收藏  |  浏览/下载：69/0  |  提交时间：2012/04/12
氮化铝  中频反应溅射  沉积速率  光学性能