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三靶共溅射纳米复合Cr-Al-Si-N涂层的制备及摩擦学性能研究 期刊论文
表面技术, 2019, 卷号: 48, 期号: 09, 页码: 78-86
作者:  王铁钢;  蒙德强;  李柏松;  赵彦辉;  刘艳梅;  姜肃猛
收藏  |  浏览/下载：140/0  |  提交时间：2021/02/02
高功率脉冲磁控溅射  脉冲直流磁控溅射  三靶共溅射  纳米复合涂层  Cr-Al-Si-N涂层  N2/Ar流量比  临界载荷  摩擦系数  磨损率  
偏压对直流磁控溅射制备的AlB2-type WB2薄膜结构和性能的影响 会议论文
, 中国湖北武汉, 2014
作者:  刘艳明;  蒋春磊;  裴志亮;  雷浩;  宫骏;  孙超
收藏  |  浏览/下载：183/0  |  提交时间：2015/05/08
Alb2-type Wb2薄膜  直流磁控溅射  硬度  摩擦磨损  结合力  
外加电磁直流磁控溅射法低温沉积ZnO:Al薄膜的研究 会议论文
2006北京国际材料周暨中国材料研讨会, 北京, 2006-09
作者:  张小波;  裴志亮;  肖金泉;  宫骏;  孙超
收藏  |  浏览/下载：140/0  |  提交时间：2013/08/21
透明导电薄膜  直流磁控溅射法  电磁线圈  低温沉积  电阻率  
透明导电薄膜在不同衬底上的性能对比研究 期刊论文
材料保护, 2005, 期号: 7, 页码: 5-7+69
作者:  陆峰,徐成海,闻立时,曹洪涛,裴志亮,孙超
收藏  |  浏览/下载：63/0  |  提交时间：2012/04/12
Zao薄膜  衬底  直流磁控溅射  性能  Xrd衍射分析  电阻率  透射率  
纳米晶钛薄膜的制备及结构分析 期刊论文
原子能科学技术, 2002, 期号: Z1, 页码: 380-383+424
作者:  赵越,刘实,汪伟,郝万立,王隆保,李依依
收藏  |  浏览/下载：122/0  |  提交时间：2012/04/12
纳米晶薄膜  直流磁控溅射  空心阴极离子镀