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热丝化学气相沉积金刚石薄膜空间场的数值分析 期刊论文
金属学报, 2005, 期号: 4, 页码: 437-443
作者:  李建国,刘实,李依依,胡东平,季锡林,梅军,周德惠
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热丝化学气相沉积  耦合模型  空间场  模拟计算  
热丝CVD方法中气体状态参数的二维模拟计算 期刊论文
材料研究学报, 2003, 期号: 4, 页码: 345-352
作者:  汪爱英,孙超,黄荣芳,闻立时
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材料科学基础学科  空间场  模拟计算  金刚石薄膜  热丝化学气相沉积  
HFCVD生长金刚石薄膜中气体状态参数空间场模拟计算 期刊论文
金属学报, 1999, 卷号: 35.0, 期号: 6, 页码: 648-653
作者:  宋贵宏,孙超,黄荣芳,闻立时
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热丝化学气相沉积  金刚石薄膜  形核  均匀生长  空间场  模拟计算