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Deposition, structure and hardness of Ti-Cu-N hard films prepared by pulse biased arc ion plating
期刊论文
Vacuum, 2011, 卷号: 86, 期号: 4, 页码: 415-421
作者:
X. Q. Wang
;
Y. H. Zhao
;
B. H. Yu
;
J. Q. Xiao
;
F. Q. Li
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提交时间:2012/04/13
Ti-cu-n Hard Composite Films
Pulse Biased Arc Ion Plating
Composition
Structure
Superhard Nanocomposite Coatings
Mechanical-properties
Zr
Bombardment
Design
Energy
Ptsi
Dc
磁控溅射PtSi/p-Si异质薄膜界面结构
会议论文
第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集, 厦门, 2001-10-01
作者:
殷景华
;
蔡伟
;
王明光
;
李美成
;
赵连城
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提交时间:2013/08/21
Ptsi
薄膜
界面结构
磁控溅射