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Influence of an External Magnetic Field on the Growth of Nanocrystalline Silicon Films Grown by MF Magnetron Sputtering 期刊论文
Journal of Materials Science & Technology, 2012, 卷号: 28, 期号: 11, 页码: 992-998
作者:  J. H. Gao;  L. Zhang;  J. Q. Xiao;  J. Gong;  C. Sun;  L. S. Wen
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Nanocrystalline Silicon  Thin Film  Solenoid Coil  Mf Magnetron  Sputtering  Chemical-vapor-deposition  Amorphous-silicon  Thin-films  Microstructure  Temperature  Fabrication  Density  Si  
Nanocrystalline silicon thin films grown by a MF twin magnetron sputtering system with two solenoid coils 期刊论文
Materials Letters, 2012, 卷号: 68, 页码: 367-369
作者:  J. H. Gao;  L. Zhang;  J. Q. Xiao;  J. Gong;  C. Sun;  L. S. Wen
收藏  |  浏览/下载：104/0  |  提交时间：2013/02/05
Nanocrystalline Silicon  Thin Films  Solenoid Coil  Sputtering  Microcrystalline Silicon  Fabrication  Deposition  Layer  Tool