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Investigation on Behavior of Macro-Particles in TiN Film by Arc Ion Plating 期刊论文
JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY, 2015, 卷号: 15, 期号: 9, 页码: 7357-7362
作者:  Lang, W. C.;  Gao, B.;  Du, H.;  Xiao, J. Q.;  Li, M. X.;  Wang, X. H.
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Arc Ion Plating  Transverse Magnetic Field (Tmf)  Pulsed Bias  Nitrogen Partial Pressure  Substrate Position  Macro-particles Reduction  
Macro-particle reduction mechanism in biased arc ion plating of TiN 期刊论文
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, 2003, 卷号: 176, 期号: 1, 页码: 109-114
作者:  Huang, MD;  Lin, GQ;  Zhao, YH;  Sun, C;  Wen, LS;  Dong, CA
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arc evaporation  ion plating  pulsed  TiN  macro-particles