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一种微晶硅薄膜的沉积方法 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-28, 公开日期: 2011-12-28
发明人:  肖金泉, 赵彦辉, 崔连武, 华伟刚, 宫骏, 孙超 and 黄荣芳
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ArF准分子激光晶化非晶硅薄膜微结构研究 期刊论文
世界科技研究与发展, 2010, 卷号: 000, 期号: 004, 页码: 417-419,426
作者:  黄香平;  崔连武;  肖金泉;  闻火;  闻立时
收藏  |  浏览/下载：68/0  |  提交时间：2021/02/02
准分子激光  激光能量  结晶度  
ArF准分子激光晶化非晶硅薄膜微结构研究 期刊论文
世界科技研究与发展, 2010, 卷号: 000, 期号: 004, 页码: 417-419,426
作者:  黄香平;  崔连武;  肖金泉;  闻火;  闻立时
收藏  |  浏览/下载：77/0  |  提交时间：2021/02/02
准分子激光  激光能量  结晶度  
准分子激光引起的非晶硅薄膜晶化行为的研究 期刊论文
真空, 2009, 期号: 4, 页码: 5-8
作者:  崔连武;  程华;  吴敢;  黄荣芳;  闻火;  闻立时
收藏  |  浏览/下载：98/0  |  提交时间：2012/04/12
准分子激光  非晶硅薄膜  激光能量密度  结晶度  
a-Si薄膜的激光表面晶化行为研究 学位论文
, 金属研究所: 中国科学院金属研究所, 2009
作者:  崔连武
收藏  |  浏览/下载：108/0  |  提交时间：2012/04/10
A-si薄膜  准分子激光  表面晶化  数值模拟  温度场