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中频孪生靶非平衡磁控溅射纳米硅薄膜的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院金属研究所, 2012
Authors:  高俊华
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中频孪生靶  非平衡磁控溅射  纳米硅薄膜  磁镜场  Middle Frequency Dual-target  Unbalanced Magnetron Sputtering  Nc-si Film  Magnetic Mirror Field  
一种微晶硅薄膜的沉积方法 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-28, 公开日期: 2011-12-28
Authors:  肖金泉, 赵彦辉, 崔连武, 华伟刚, 宫骏, 孙超 and 黄荣芳
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准分子激光引起的非晶硅薄膜晶化行为的研究 期刊论文
真空, 2009, 期号: 4, 页码: 5-8
Authors:  崔连武;  程华;  吴敢;  黄荣芳;  闻火;  闻立时
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准分子激光  非晶硅薄膜  激光能量密度  结晶度