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一种定向生长的铜柱凸点互连结构及其制备方法
专利
专利类型: 发明专利, 专利号: 201410709245.1, 申请日期: 2018-04-24,
发明人:
刘志权
;
孙福龙
;
李财富
;
祝清省
;
郭敬东
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提交时间:2021/02/02
微电子封装用纳米孪晶铜的电沉积制备及界面反应研究
学位论文
, 2018
作者:
孙福龙
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提交时间:2018/08/22
Electrodeposition and growth mechanism of preferentially orientated nanotwinned Cu on silicon wafer substrate
期刊论文
JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE & TECHNOLOGY, 2018, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 1885-1890
作者:
Sun FuLong
;
Gao LiYin
;
Liu ZhiQuan
;
Zhang Hao
;
Sugahara Tohru
;
Nagao Shijo
;
Suganuma Katsuaki
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提交时间:2021/02/02
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Nanotwinned Cu
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