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氧、氩分压对直流反应溅射制备ZAO薄膜的性能影响 会议论文
第九届全国光电技术学术交流会论文集, 北京, 2010-05
作者:  陆峰;  徐成海;  闻立时;  吴玉厚
收藏  |  浏览/下载：114/0  |  提交时间：2013/08/21
Zao薄膜  直流反应溅射  氧分压  氩分压  
透明导电薄膜在不同衬底上的性能对比研究 期刊论文
材料保护, 2005, 期号: 7, 页码: 5-7+69
作者:  陆峰,徐成海,闻立时,曹洪涛,裴志亮,孙超
收藏  |  浏览/下载：61/0  |  提交时间：2012/04/12
Zao薄膜  衬底  直流磁控溅射  性能  Xrd衍射分析  电阻率  透射率  
透明导电ZnO∶Al(ZAO)纳米薄膜的性能分析 期刊论文
真空科学与技术, 2003, 期号: 1, 页码: 12-14+18
作者:  陆峰,徐成海,曹洪涛,裴志亮,孙超,闻立时
收藏  |  浏览/下载：74/0  |  提交时间：2012/04/12
Zao薄膜  X射线衍射  电阻率  透射率  反射率  
ZAO透明导电纳米薄膜中Al元素分布对其性能的影响 期刊论文
东北大学学报, 2003, 期号: 1, 页码: 54-57
作者:  陆峰,徐成海,孙超,闻立时
收藏  |  浏览/下载：59/0  |  提交时间：2012/04/12
Zao薄膜  Al质量分数  Eds  Xrd  电阻率  透射率  
直流磁控反应溅射制备ZAO薄膜工艺参数的研究 期刊论文
真空, 2002, 期号: 3, 页码: 23-26
作者:  陆峰,徐成海,裴志亮,闻立时
收藏  |  浏览/下载：72/0  |  提交时间：2012/04/12
Zao  电阻率  透射率  
直流反应溅射制备ZnO:Al透明导电薄膜 会议论文
《真空科学与技术》/Vol.22 2002增刊, 北京, 2001-10-16
作者:  陆峰;  徐成海;  裴志亮;  闻立时
收藏  |  浏览/下载：75/0  |  提交时间：2013/08/21
导电薄膜  磁控溅射法  制备方法  光学性能  
ZAO薄膜的研究现状及发展趋势 期刊论文
真空与低温, 2001, 期号: 3, 页码: 3-7
作者:  陆峰,徐成海,闻立时
收藏  |  浏览/下载：84/0  |  提交时间：2012/04/12
Zao薄膜  溅射