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| 放电气体对ECR-PECVD法制备微晶硅薄膜的影响 期刊论文
材料研究学报, 2013, 期号: 3, 页码: 307-311
作者: 程华; 钱永产; 薛军; 吴爱民; 石南林
  收藏 | 浏览/下载：161/0 | 提交时间：2013/12/25
材料合成与加工工艺 微晶硅薄膜 Ecr-pecvd 放电气体 |
| 中频孪生靶非平衡磁控溅射纳米硅薄膜的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院金属研究所, 2012
作者: 高俊华
收藏 | 浏览/下载：106/0 | 提交时间：2013/04/12
中频孪生靶 非平衡磁控溅射 纳米硅薄膜 磁镜场 Middle Frequency Dual-target Unbalanced Magnetron Sputtering Nc-si Film Magnetic Mirror Field |
| PECVD裂解SiCl4低温快速沉积氢化纳米晶硅薄膜的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院金属研究所, 2012
作者: 张林
收藏 | 浏览/下载：125/0 | 提交时间：2013/04/12
等离子体增强化学气相沉积法 氢化纳米硅薄膜 微观结构 Pecvd Nc-si:h Film Microstructure |
| 基片温度对微晶硅薄膜微观结构和光学性能的影响 期刊论文
材料研究学报, 2011, 期号: 4, 页码: 408-412
作者: 程华; 王萍; 崔岩; 吴爱民; 石南林
收藏 | 浏览/下载：103/0 | 提交时间：2012/04/12
材料合成与加工工艺 微晶硅薄膜 Ecr Pecvd 吸收系数 光学带隙 |
| 用等离子体增强化学气相沉积制备微晶硅薄膜 期刊论文
材料研究学报, 2010, 期号: 5, 页码: 547-549
作者: 程华; 张昕; 张广城; 刘汝宏; 吴爱民; 石南林
收藏 | 浏览/下载：118/0 | 提交时间：2012/04/12
材料合成与加工工艺 微晶硅薄膜 Ar稀释sih_4 Ecr-pecvd 微波功率 |
| 硅薄膜中的结构缺陷研究进展 期刊论文
功能材料, 2010, 期号: S1, 页码: 1-5
作者: 赵彦辉; 肖金泉; 黄荣芳; 闻火; 闻立时
收藏 | 浏览/下载：110/0 | 提交时间：2012/04/12
硅薄膜 缺陷 缺陷研究方法 转换效率 |
| 准分子激光引起的非晶硅薄膜晶化行为的研究 期刊论文
真空, 2009, 期号: 4, 页码: 5-8
作者: 崔连武; 程华; 吴敢; 黄荣芳; 闻火; 闻立时
收藏 | 浏览/下载：98/0 | 提交时间：2012/04/12
准分子激光 非晶硅薄膜 激光能量密度 结晶度 |
| PECVD硅烷分解法制备硅层基本规律的研究 学位论文
, 金属研究所: 中国科学院金属研究所, 2009
作者: 程华
收藏 | 浏览/下载：141/0 | 提交时间：2012/04/10
微晶硅薄膜 Pecvd Ar放电 沉积速率 组织结构 结晶状态 薄膜稳定性 电学特性 光学特性 |
| 薄膜硅太阳电池中的材料学和工程问题 会议论文
二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛论文集, 天津, 2008-10-23
作者: 闻立时; 黄荣芳
收藏 | 浏览/下载：73/0 | 提交时间：2013/08/21
光伏发电 光伏产业 太阳能电池 硅薄膜材料 |
| 高压热充氢制备纳米晶硅薄膜的方法及其专用设备 成果
2008
完成人/完成单位: 中国科学院金属研究所
收藏 | 浏览/下载：48/0 | 提交时间：2013/07/24
纳米晶硅薄膜 高压热充氢 尺度均匀 |
