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Mn或Cu掺杂非晶AlN薄膜的光致发光特性 期刊论文
真空科学与技术学报, 2007, 期号: 6, 页码: 508-510
作者:  巴德纯;  佟洪波;  闻立时
收藏  |  浏览/下载:79/0  |  提交时间:2012/04/12
氮化铝  中频反应溅射  掺杂  光致发光  
反应溅射AlN的模拟 期刊论文
真空科学与技术学报, 2007, 期号: 5, 页码: 377-379
作者:  佟洪波;  巴德纯;  闻立时
收藏  |  浏览/下载:109/0  |  提交时间:2012/04/12
模拟  氮化铝  反应溅射  二次电子发射系数  
中频反应磁控溅射制备AlN薄膜的工艺研究 期刊论文
真空科学与技术学报, 2007, 期号: 4, 页码: 332-335
作者:  佟洪波;  巴德纯;  闻立时
收藏  |  浏览/下载:68/0  |  提交时间:2012/04/12
氮化铝  中频反应溅射  沉积速率  光学性能  
氮化铝薄膜发光性能研究进展 期刊论文
真空, 2007, 期号: 2, 页码: 22-26
作者:  佟洪波;  巴德纯;  肖金泉;  闻立时
收藏  |  浏览/下载:76/0  |  提交时间:2012/04/12
Aln薄膜  发光  Tfel器件  
氮化铝薄膜发光性能的研究进展 会议论文
2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集, 沈阳, 2005-07-14
作者:  佟洪波;  巴德纯;  肖金泉;  闻立时
收藏  |  浏览/下载:65/0  |  提交时间:2013/08/21
薄膜  氮化铝  电致发光  发光性能