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Mn或Cu掺杂非晶AlN薄膜的光致发光特性
期刊论文
真空科学与技术学报, 2007, 期号: 6, 页码: 508-510
作者:
巴德纯
;
佟洪波
;
闻立时
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提交时间:2012/04/12
氮化铝
中频反应溅射
掺杂
光致发光
反应溅射AlN的模拟
期刊论文
真空科学与技术学报, 2007, 期号: 5, 页码: 377-379
作者:
佟洪波
;
巴德纯
;
闻立时
收藏
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浏览/下载:109/0
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提交时间:2012/04/12
模拟
氮化铝
反应溅射
二次电子发射系数
中频反应磁控溅射制备AlN薄膜的工艺研究
期刊论文
真空科学与技术学报, 2007, 期号: 4, 页码: 332-335
作者:
佟洪波
;
巴德纯
;
闻立时
收藏
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浏览/下载:68/0
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提交时间:2012/04/12
氮化铝
中频反应溅射
沉积速率
光学性能
氮化铝薄膜发光性能研究进展
期刊论文
真空, 2007, 期号: 2, 页码: 22-26
作者:
佟洪波
;
巴德纯
;
肖金泉
;
闻立时
收藏
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浏览/下载:76/0
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提交时间:2012/04/12
Aln薄膜
发光
Tfel器件
氮化铝薄膜发光性能的研究进展
会议论文
2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集, 沈阳, 2005-07-14
作者:
佟洪波
;
巴德纯
;
肖金泉
;
闻立时
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浏览/下载:65/0
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提交时间:2013/08/21
薄膜
氮化铝
电致发光
发光性能