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氧、氩分压对直流反应溅射制备ZAO薄膜的性能影响
会议论文
第九届全国光电技术学术交流会论文集, 北京, 2010-05
作者:
陆峰
;
徐成海
;
闻立时
;
吴玉厚
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提交时间:2013/08/21
Zao薄膜
直流反应溅射
氧分压
氩分压
透明导电薄膜在不同衬底上的性能对比研究
期刊论文
材料保护, 2005, 期号: 7, 页码: 5-7+69
作者:
陆峰,徐成海,闻立时,曹洪涛,裴志亮,孙超
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浏览/下载:63/0
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提交时间:2012/04/12
Zao薄膜
衬底
直流磁控溅射
性能
Xrd衍射分析
电阻率
透射率
ZnO:Al(ZAO)薄膜的制备与特性研究
期刊论文
金属学报, 2005, 期号: 1, 页码: 84-88
作者:
裴志亮,张小波,王铁钢,宫骏,孙超,闻立时
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浏览/下载:73/0
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提交时间:2012/04/12
直流反应磁控溅射
Zao薄膜
生长机制
光电特性
透明导电ZnO∶Al(ZAO)纳米薄膜的性能分析
期刊论文
真空科学与技术, 2003, 期号: 1, 页码: 12-14+18
作者:
陆峰,徐成海,曹洪涛,裴志亮,孙超,闻立时
收藏
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浏览/下载:76/0
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提交时间:2012/04/12
Zao薄膜
X射线衍射
电阻率
透射率
反射率
ZAO透明导电纳米薄膜中Al元素分布对其性能的影响
期刊论文
东北大学学报, 2003, 期号: 1, 页码: 54-57
作者:
陆峰,徐成海,孙超,闻立时
收藏
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浏览/下载:61/0
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提交时间:2012/04/12
Zao薄膜
Al质量分数
Eds
Xrd
电阻率
透射率
透明导电膜ZnO:Al(ZAO)的组织结构与特性
期刊论文
材料研究学报, 2002, 期号: 2, 页码: 113-120
作者:
孙超,陈猛,裴志亮,曹鸿涛,黄荣芳,闻立时
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浏览/下载:116/0
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提交时间:2012/04/12
透明导电氧化物
简并半导体
Zao薄膜
散射机制
电学光学性质
透明导电膜ZnO:Al(ZAO)的组织结构与特性
期刊论文
材料研究学报, 2002, 卷号: 16.0, 期号: 002, 页码: 113-120
作者:
孙超
;
陈猛
;
裴志亮
;
曹鸿涛
;
黄荣芳
;
闻立时
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浏览/下载:137/0
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提交时间:2021/02/02
组织结构
透明导电氧化物
简并半导体
ZAO薄膜
散射机制
光学性质
氧化锌
氧化铝
电学性质
ZAO薄膜的研究现状及发展趋势
期刊论文
真空与低温, 2001, 期号: 3, 页码: 3-7
作者:
陆峰,徐成海,闻立时
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浏览/下载:87/0
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提交时间:2012/04/12
Zao薄膜
溅射