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The microstructure and optical properties of SiNx deposited by linear microwave chemical vapor deposition 期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA, 2015, 卷号: 64, 期号: 6
作者:  Zhang Jian;  Ba DeChun;  Zhao ChongLing;  Liu Kun;  Du GuangYu
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SILICON-NITRIDE FILMS  THIN-FILMS  PLASMA  PHOTOLUMINESCENCE  TEMPERATURE  SiNx thin film  linear microwave chemical vapor deposition  refractivity  deposition rate  
The microstructure and optical properties of SiNx deposited by linear microwave chemical vapor deposition 期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA, 2015, 卷号: 64, 期号: 6
作者:  Zhang Jian;  Ba DeChun;  Zhao ChongLing;  Liu Kun;  Du GuangYu
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SILICON-NITRIDE FILMS  THIN-FILMS  PLASMA  PHOTOLUMINESCENCE  TEMPERATURE  SiNx thin film  linear microwave chemical vapor deposition  refractivity  deposition rate  
Synthesis of yttrium silicates by annealing r.f. sputtered glassy coatings 期刊论文
Vacuum, 2014, 卷号: 101, 页码: 382-386
作者:  J. Zhang;  S. Mraz;  J. H. Yao;  J. M. Schneider
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Yttrium Silicates  R.f. Sputtering And Post-annealing  Environmental Barrier Coatings  Silicon-nitride  Thin-films  Temperature  Deposition  Composites  Ceramics  Stress  Growth  
Mechanical behavior related to various bonding states in amorphous Si-C-N hard films 期刊论文
Surface & Coatings Technology, 2014, 卷号: 258, 页码: 353-358
作者:  C. Q.;  Schlemper Zhuang, C.;  Fuchs, R.;  Zhang, L.;  Huang, N.;  Vogel, M.;  Staedler, T.;  Jiang, X.
收藏  |  浏览/下载：171/0  |  提交时间：2015/05/08
Si-c-n Coatings  Chemical Bond  Mechanical Behavior  Silicon Carbonitride Films  Pulsed-laser Deposition  Chemical-vapor-deposition  Nitride Thin-films  Optical-properties  Surface-morphology  Band-gap  Alloys  Microstructure  Coatings  
Influence of Nitrogen Flow Ratio on the Microstructure, Composition, and Mechanical Properties of DC Magnetron Sputtered Zr-B-O-N Films 期刊论文
Journal of Materials Science & Technology, 2012, 卷号: 28, 期号: 11, 页码: 981-991
作者:  T. G. Wang;  Y. M. Liu;  T. F. Zhang;  D. I. Kim;  K. Kim
收藏  |  浏览/下载：107/0  |  提交时间：2013/02/05
Films  Dc Magnetron Sputtering  Nanocomposite  Microhardness  Adhesion  Thin-films  Cr-b  Electrical-properties  Coatings  Target  Deposition  Growth  Si  Nitride  Silicon  
Effect of Cu addition on properties of Ti-Al-Si-N nanocomposite films deposited by cathodic vacuum arc ion plating 期刊论文
Surface & Coatings Technology, 2012, 卷号: 206, 期号: 11-12, 页码: 2947-2953
作者:  J. Shi;  A. Kumar;  L. Zhang;  X. Jiang;  Z. L. Pei;  J. Gong;  C. Sun
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Cathode Arc Ion Plating  Ti-al-si-n Nanocomposite Films  Nanoindentation  Adhesive Strength  Mechanical-properties  Surface Oxidation  Titanium Nitride  Coatings  Hardness  Microstructure  Silicon  Gpa  Xps  
Composition-Dependent Structural and Electronic Properties of alpha-(Si(1-x)C(x))(3)N(4) 期刊论文
Journal of Physical Chemistry C, 2011, 卷号: 115, 期号: 5, 页码: 2448-2453
作者:  M. Xu;  S. Xu;  M. Y. Duan;  M. Delanty;  N. Jiang;  H. S. Li;  L. C. Kwek;  K. Ostrikov
Adobe PDF(1797Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：103/0  |  提交时间：2012/04/13
Chemical-vapor-deposition  Silicon-carbon Nitride  Thin-films  Optical-properties  Room-temperature  Alpha-phase  Growth  Hard  Photoluminescence  Microstructure  
Hardness and elastic properties of covalent/ionic solid solutions from first-principles theory 期刊论文
Journal of Applied Physics, 2008, 卷号: 103, 期号: 8
作者:  Q. M. Hu;  K. Kadas;  S. Hogmark;  R. Yang;  B. Johansson;  L. Vitos
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Cubic Silicon-nitride  Ab-initio  Mechanical-properties  Potential  Model  Alloys  Metal  Films  Tin  Approximation  Stability  
Electroluminescence from Si/Si oxynitride superlattices 期刊论文
Applied Physics Letters, 1998, 卷号: 72, 期号: 26, 页码: 3408-3410
作者:  G. F. Bai;  Y. P. Qiao;  Z. C. Ma;  W. H. Zong;  G. G. Qin
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Chemical-vapor-deposition  Silicon-nitride Films  Optical-properties  Spectra  
Electroluminescence from Au/Si oxynitride film Si structures with the films having different chemical compositions 期刊论文
Journal of Physics-Condensed Matter, 1997, 卷号: 9, 期号: 24, 页码: 5245-5252
作者:  A. P. Li;  L. D. Zhang;  Y. P. Qiao;  G. G. Qin;  Z. C. Ma;  W. H. Zong;  X. Wang;  H. W. Hu
收藏  |  浏览/下载：108/0  |  提交时间：2012/04/14
Silicon-nitride Films  Vapor-deposition  Optical-properties  Amorphous  Films  Oxide  Spectra