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Analysis on the process of ZAO films by DC magnetron reactive sputtering 期刊论文
Science China-Technological Sciences, 2011, 卷号: 54, 期号: 1, 页码: 28-32
作者:  F. Lu;  C. H. Xu;  L. S. Wen
Adobe PDF(583Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：142/0  |  提交时间：2012/04/13
Zao Film  Resistivity  Transmissivity  Zno  Temperature  
氧、氩分压对直流反应溅射制备ZAO薄膜的性能影响 会议论文
第九届全国光电技术学术交流会论文集, 北京, 2010-05
作者:  陆峰;  徐成海;  闻立时;  吴玉厚
收藏  |  浏览/下载：114/0  |  提交时间：2013/08/21
Zao薄膜  直流反应溅射  氧分压  氩分压  
透明导电薄膜在不同衬底上的性能对比研究 期刊论文
材料保护, 2005, 期号: 7, 页码: 5-7+69
作者:  陆峰,徐成海,闻立时,曹洪涛,裴志亮,孙超
收藏  |  浏览/下载：62/0  |  提交时间：2012/04/12
Zao薄膜  衬底  直流磁控溅射  性能  Xrd衍射分析  电阻率  透射率  
ZnO:Al(ZAO)薄膜的制备与特性研究 期刊论文
金属学报, 2005, 期号: 1, 页码: 84-88
作者:  裴志亮,张小波,王铁钢,宫骏,孙超,闻立时
收藏  |  浏览/下载：71/0  |  提交时间：2012/04/12
直流反应磁控溅射  Zao薄膜  生长机制  光电特性  
Preparation and properties of ZnO : Al (ZAO) thin films deposited by DC reactive magnetron sputtering 期刊论文
ACTA METALLURGICA SINICA, 2005, 卷号: 41, 期号: 1, 页码: 84-88
作者:  Pei, ZL;  Zhang, XB;  Wang, TG;  Gong, J;  Sun, C;  Wen, LS
收藏  |  浏览/下载：77/0  |  提交时间：2021/02/02
DC reactive magnetron sputtering  ZAO film  growth mechanism  electrical and optical propertie  
透明导电ZnO∶Al(ZAO)纳米薄膜的性能分析 期刊论文
真空科学与技术, 2003, 期号: 1, 页码: 12-14+18
作者:  陆峰,徐成海,曹洪涛,裴志亮,孙超,闻立时
收藏  |  浏览/下载：74/0  |  提交时间：2012/04/12
Zao薄膜  X射线衍射  电阻率  透射率  反射率  
ZAO透明导电纳米薄膜中Al元素分布对其性能的影响 期刊论文
东北大学学报, 2003, 期号: 1, 页码: 54-57
作者:  陆峰,徐成海,孙超,闻立时
收藏  |  浏览/下载：59/0  |  提交时间：2012/04/12
Zao薄膜  Al质量分数  Eds  Xrd  电阻率  透射率  
直流磁控反应溅射制备ZAO薄膜工艺参数的研究 期刊论文
真空, 2002, 期号: 3, 页码: 23-26
作者:  陆峰,徐成海,裴志亮,闻立时
收藏  |  浏览/下载：72/0  |  提交时间：2012/04/12
Zao  电阻率  透射率  
透明导电膜ZnO:Al(ZAO)的组织结构与特性　 期刊论文
材料研究学报, 2002, 期号: 2, 页码: 113-120
作者:  孙超,陈猛,裴志亮,曹鸿涛,黄荣芳,闻立时
收藏  |  浏览/下载：112/0  |  提交时间：2012/04/12
透明导电氧化物  简并半导体  Zao薄膜  散射机制  电学光学性质  
透明导电膜ZnO：Al（ZAO）的组织结构与特性 期刊论文
材料研究学报, 2002, 卷号: 16.0, 期号: 002, 页码: 113-120
作者:  孙超;  陈猛;  裴志亮;  曹鸿涛;  黄荣芳;  闻立时
收藏  |  浏览/下载：132/0  |  提交时间：2021/02/02
组织结构  透明导电氧化物  简并半导体  ZAO薄膜  散射机制  光学性质  氧化锌  氧化铝  电学性质